- изготовление ИС методом рентгеновской литографии
- X-ray fabrication
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Институт физики микроструктур РАН — (ИФМ РАН) Международное название Institute for Physics of Microstructures RAS (IPM RAS) Основан 1993 … Википедия